VLSI electronics Vol. 8, Plasma processing for VLSI - microstructure science
- Författare
- (Ed. by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown.)
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic P. | 1984 | USA, New York | xiv, 527 sidor. ill. 24 cm |